WH-HP-02 多温区烘胶台
产品简介
多温区烘胶台（WH-HP-02）是汶颢股份自主开发的具有独立知识产权的一款产品，可以用于光刻工艺中烘胶工艺，包括前烘、中烘和后烘，并具有分段式程控升温。该设备采用PID控温系统自动测温控温，升温速度快、温度均匀、控温精度高等特点，可长时间持续稳定工作。此外，此仪器最大特点是具有3个温控区域，可分别设定与调整不同的温度，可同时/单独工作，克服了常规烘胶台只有一个温控区域，需要多个温度控制时必须来回切换升温/降温的缺点，极大提高了烘胶效率，以及烘胶过程的温度一致性。
WH-HP-02是一款紧凑且易于使用的光刻热板。它用于光刻工艺的预烘烤，后烘烤和硬烘烤。该产品具有较高的烘烤速度，均匀性，较高的温度控制精度和高度可重复的实验结果。烘烤控制设计用于预烘烤，后烘烤和硬烘烤，以进行光蚀刻过程。WH-HP-02热板与KW-4A旋涂机或WH-SC-01旋涂机一起使用，是在硅片或其他基板上制造金属氧化物薄膜、聚合物涂层和金属有机薄膜的理想工具。
与传统烘箱相比，使用加热板固化薄膜将减少烘烤时间，提高可重复性，并获得更均匀和更好的薄膜质量。这是因为WH-HP-01在整个基材上具有均匀的温度曲线，并为薄膜和涂层提供均匀的加热。因为薄膜/涂层是从下往上加热的，所以可以避免皮肤效应。
多温区烘胶台（热板、烤胶机）技术参数：
| WH-HP-02多温区烘胶台（7寸） | WH-HP-03多温区烘胶台（5寸） |
| 烘胶温度：室温～300℃
持续烘胶时间：～15min以内为宜 控温精度：±1℃ 温度均匀性：＜±5% 烘胶板规格：φ210 mm 参数设定：触摸屏设置参数 控温形式：PID控温系统 电源输入：AC220V±10V/50HZ 功率：2.5 KW 重量：40 kg 外形尺寸：580（W）*706（D）*187（H）mm |
烘胶温度：室温～300℃
持续烘胶时间：～15min以内为宜 控温精度：±1℃ 温度均匀性：＜±5% 烘胶板规格：φ130mm 参数设定：触摸屏设置参数 控温形式：PID控温系统 电源输入：AC220V±10V/50HZ 功率：1.5 KW 重量：21kg 外形尺寸：480（W）*580（D）*200（H）mm |
特征图解
操作界面
多温区烘胶台/热板温度测试数据表：
| 烘台位置 | 设置温度（℃） | 显示温度（℃） | 中心（℃） | 偏中心（℃） | 边缘（℃） | 均一性% |
| 左烘台 | 65 | 64.8~65.2 | 66 | 63 | 65 | 4.5% |
| 100 | 99.7~100.2 | 106 | 101 | 105 | 4.7% | |
| 150 | 149.5~150.4 | 154 | 147 | 152 | 4.5% | |
| 200 | 199.6~200.4 | 214 | 195 | 213 | 8.9% | |
| 250 | 249.4~250.4 | 268 | 248 | 265 | 7.5% | |
| 280 | 279.6~280.5 | 307 | 280 | 302 | 8.8% | |
| 右烘台 | 65 | 64.8~65.3 | 66 | 65 | 67 | 2.99% |
| 100 | 99.7~100.5 | 105 | 102 | 104 | 2.9% | |
| 150 | 149.4~150.7 | 157 | 151 | 155 | 3.8% | |
| 200 | 199.4~200.4 | 215 | 200 | 208 | 7.0% | |
| 250 | 248.6~250.8 | 270 | 249 | 265 | 7.8% | |
| 280 | 279.0~280.9 | 309 | 281 | 298 | 9.1% | |
| 前烘台 | 65 | 64.9~65.4 | 66 | 63 | 65 | 4.5% |
| 100 | 99.8~100.4 | 106 | 101 | 105 | 4.7% | |
| 150 | 149.7~150.3 | 154 | 146 | 154 | 5.2% | |
| 200 | 199.8~200.5 | 210 | 194 | 207 | 7.6% | |
| 250 | 249.7~251.2 | 280 | 253 | 266 | 9.6% | |
| 280 | 279.8~281.2 | 317 | 283 | 289 | 10.7% | |
| 测试结论 | 温度范围：室温~300℃；控温精度≤±1℃；实际温度偏差范围±5℃；温度均一性:室温~150℃温度均一性范围≤±5%，＞150℃温度均一性范围>±5%。 | |||||
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