WH-HP-01 烘胶台
1.烘胶台/烤胶机产品简介
WH-HP-01烘胶台是苏州汶颢微流控技术股份有限公司独立开发，具有独立知识产权，可以用于光刻工艺中的前烘、中烘和后烘。该设备采用PID控温系统自动测温控温，并具有两段式自动升温、烘胶速度快、均匀、控温精度高等特点，可长时间持续稳定工作。
WH-HP-01是一款紧凑且易于使用的光刻热板。它用于光刻工艺的预烘烤，后烘烤和硬烘烤。该产品具有较高的烘烤速度，均匀性，较高的温度控制精度和高度可重复的实验结果。烘烤控制设计用于预烘烤，后烘烤和硬烘烤，以进行光蚀刻过程。
WH-HP-01热板与KW-4A旋涂机或WH-SC-01旋涂机一起使用，是在硅片或其他基板上制造金属氧化物薄膜、聚合物涂层和金属有机薄膜的理想工具。与传统烤箱相比，使用加热板固化薄膜将减少烘烤时间，提高可重复性，并获得更均匀和更好的薄膜质量。这是因为WH-HP-01在整个基材上具有均匀的温度曲线，并为薄膜和涂层提供均匀的加热。因为薄膜/涂层是从下往上加热的，所以可以避免皮肤效应。
烤胶机（英文名：Hot Plate）又名烘胶台，烤胶台，加热平台，烤胶板，热台，热板等用途可在光刻工艺中的涂胶后的软烘，暴光后烘，显影后的坚膜，磨片粘片熔腊等。产品采用整体铸造，加热板作为加热体，增强了设备的安全性。采用单片机作为控制核心部件，有极高精准的控温精度，紧凑美观。该设备对一些温度敏感材料（如晶体、半导体、陶瓷等）进行加热和装卡尤为适用。该设备结构简单，操作简便，安全可靠，是从事半导体热处理、材料研究生产、温度干燥试验等必不可少的工具。
2.烘胶台/烤胶机技术参数
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正常温度：室温-300℃ |
| 极限温度：350℃ | |
| 持续烘胶时间：15min以内为宜 | |
| 控温精度：±1℃ | |
| 温度均匀性：＜±3% | |
| 烘胶板规格：φ200 | |
| 参数设定：触摸屏设置参数 | |
| 控温形式：PID控温系统 | |
| 电源输入：AC220V±10V,50HZ | |
| 功率：1000W | |
| 重量：16kg | |
| 外形尺寸：365*280*156mm |
3.烘胶台/烤胶机特征图解
①观察窗 ②盖板 ③烘胶板 ④触摸屏 ⑤电源插孔 ⑥通风孔
烘胶台温度测试数据表：
| 设定温度(℃) | 1 | 2 | 3 | ||||||||||||
| 显示温度(℃) | 实际温度(℃) | 温度均一性% | 显示温度(℃) | 实际温度(℃) | 温度均一性% | 显示温度(℃) | 实际温度(℃) | 温度均一性% | |||||||
| 中心 | 偏中心 | 边缘 | 中心 | 偏中心 | 边缘 | 中心 | 偏中心 | 边缘 | |||||||
| 65 | 64.7~65.9 | 65 | 66 | 67 | 2.99% | 64.4~65.5 | 68 | 68 | 69 | 4.35% | 64.8~65.9 | 68 | 67 | 69 | 2.90% |
| 95 | 94.7~96 | 95 | 96 | 97 | 2.06% | 94.3~96.1 | 96 | 96 | 98 | 2.04% | 94.6~96.3 | 96 | 96 | 96 | 0.00% |
| 120 | 119.7~121 | 120 | 121 | 123 | 2.44% | 119.6~121.4 | 121 | 121 | 121 | 0.00% | 119.4~121.8 | 120 | 119 | 117 | 2.50% |
| 150 | 149.1~151.5 | 149 | 151 | 152 | 1.97% | 149.3~151.5 | 150 | 150 | 152 | 1.32% | 149.2~151.7 | 150 | 148 | 148 | 1.33% |
| 200 | 198.9~201.1 | 198 | 201 | 202 | 1.98% | 199.1~201.2 | 196 | 198 | 200 | 2.00% | 199.3~201.9 | 201 | 196 | 197 | 1.99% |
| 250 | 248.2~250.9 | 251 | 254 | 255 | 1.57% | 248.8~250.8 | 251 | 252 | 254 | 1.18% | 248.5~251.5 | 253 | 249 | 250 | 2.80% |
| 280 | 278.6~280.6 | 282 | 284 | 287 | 1.74% | 278.2~280.9 | 282 | 285 | 286 | 1.40% | 278.4~281 | 287 | 281 | 283 | 1.39% |
| 测试结论 | 控温精度<±2℃，温度准确性(偏中心点)范围在±5℃，温度均一性＜5%。 | ||||||||||||||
装箱清单：
| 名称 | 单位 | 数量 |
| 烘胶台机体 | 台 | 1 |
| 电源线 | 份 | 1 |
| 使用手册 | 份 | 1 |
| 质检报告 | 份 | 1 |
| 合格证 | 份 | 1 |
| 保修卡 | 份 | 1 |
烘胶台视频指导
注：清点包装箱内的附件和印刷资料，箱内的附件和资料请按照装箱清单对照检查。
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