URE-2000/30型光刻机

1．技术特征

l 高倍率双目双视场显微镜和22英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供USB输出；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储

l 采用倒置式照明，更换汞灯更方便，散热和防漏光效果更好

l 对准位和曝光位双工位工作，双工位自动切换

l 采用嵌入式计算机+触摸屏操作，操作更方便，更时尚

l 上下片、版十分方便，自动化程度高，操作简便。对高校教学科研（可靠性好，演示方便）及工厂(效率高)尤为适宜

2．技术参数

l 曝光面积：100mm×100mm（可升级为6英寸）

l 曝光波长：365nm

l 分辨力：≤1mm（胶厚1.5 mm的正胶）

l 对准精度：±0.6mm

l 显微镜扫描台运动范围：X：10mm;Y:10mm

l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l 样片尺寸：直径f15mm– f100mm（各种不规则片）

厚度0.1mm–6mm

l 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

l 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

l 照明不均匀性： 3%（f100mm 范围）

l 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜三对：4倍、10倍、20倍

目镜三对：10倍、16倍、20倍

l 调平接触压力通过传感器保证重复

l 数字设定对准间隙和间隙

l 具备压印模块接口，也具备接近模块接口

l 掩模相对于样片运动行程：

X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6?

l 最大焦厚：400mm（SU8胶，用户提供检测条件）

l 光源平行性：3 ?

l 曝光能量密度：>25mW/cm2,照明面温度<35 ?C

l 单层曝光一键完成

l 采用球气浮+三爪找平

l 汞灯功率：350W（直流，进口）

3．外形尺寸：1400mm（长）?900mm(宽) ?1500mm（高）

4．配置

（1）曝光头

l 冷光椭球镜

l 350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

l XYZ汞灯调节台

l 冷却风扇

l 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2

（2）对准工件台

l 光刻机底座

l 工位切换台（气缸）

l 掩模样片整体运动台

l 掩模样片相对运动台

l 转动台

l 样片调平机构,三点自动完成

l 样片调焦机构，电机自动调

l 基片抽拉式上下机构

l 承片台4个：f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm（可按用户要求增减）

l 掩模夹4个：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸（可按用户要求增减）

l 样片抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

l 光源、 电源

l 双目双视场对准显微镜主体

l 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

l 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

l CCD对准系统，22寸液晶显示器

（4）电控系统

l 汞灯触发电源(350W直流汞灯)

l 单片机控制系统

l 控制面板

l 控制柜桌

（5）气动系统

l 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

l 电磁阀驱动

l 气动仪表

（6）其他附件

l 真空泵一台

l 空压机一台

l 配套接口管道

（7）技术资料

l 使用维修说明书

l 产品检验合格证