URE-2000/25型光刻机

产品名称：

中国光电URE-2000/25型光刻机

产品特点：
1、采用多反射镜实现均匀照明；
2、超精密手轮对准调节 ；
3、单片机控制,触摸开关操作；
4、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供USB输出；

5、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，温度小于35度）；
6、采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度；
7、整机精度高、性能可靠、操作方便、具有高性价比；

8、既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储；

9、手动上下版、样片，手动调平；手动分离间隙。快门可单独开启，也可以数字设定自动倒计时曝光（设定范围0.1s-9999s）

规格参数：
1、曝光面积：100mm×100mm（或150 mm×150mm）
2、分辨力：1.5μm（胶厚2μm的正胶）
3、对准精度：±0.8μm
4、掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、样片尺寸直径f15mm–f100mm(可适应非标准片或碎片)
7、厚度0.1mm–6mm(可扩展为15mm)
8、照明均匀性：±4%（f100mm范围）±6%（f150mm范围）
9、掩模相对于样片运动行程：  X:±5mm;  Y:±5mm; q: ±6度
10、汞灯功率：350W（直流）
11、曝光波长：365nm
12、曝光能量密度：15mW/cm (420nm以上波长小于0.1mW/cm )
13、曝光方式：定时（到计时方式0.1s—999s）
14、外形尺寸：1200mm（长）?900mm(宽)?1600mm（高）