URE-2000/17型光刻机（台式）

URE-2000/17型紫外深度光刻机技术特点：
采用双目双视场显微镜对准；球碗调平,单片机控制,触摸开关,操作方便、实用性强。

1．技术参数

l 曝光面积：4英寸

l 曝光波长：365nm

l 分辨力：1.5mm（胶厚2 mm的正胶）

l 对准精度：±1mm

l 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l 样片尺寸：直径f15mm– f100mm

厚度0.1mm–6mm(可扩展为15mm)

l 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

l 照明不均匀性： 5%（f100mm 范围）

l 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜三对：4倍、10倍、20倍

目镜三对：10倍、16倍、20倍

l 掩模相对于样片运动行程：

X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

l 汞灯功率：200W（直流）

l 曝光能量密度：6mW/cm

2．外形尺寸：650mm（长）?600mm(宽) ?900mm（高）

3．配置

（1）曝光头

l 200W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

l XYZ汞灯调节台

l 光学系统

l 冷却风扇

（2）对准工件台

l 掩模样片整体运动台

l 掩模样片相对运动台

l 转动台

l 样片调平机构,手动

l 样片调焦机构，手动

l 承片台3个（f50mm 、?75mm 、 ?100mm  ）

l 掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

l 掩模抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

l 光源（配备品2只）、电源

l 双目双视场对准显微镜主体

l 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

l 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

l CCD（台湾）

l 21寸液晶显示器

（4）电控系统

l 汞灯触发电源(200W直流汞灯)

l 单片机控制系统

l 控制机箱

（5）气动系统

l 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

l 电磁阀驱动

l 气动仪表

（6）其他附件

l 真空泵一台

l 管道

（7）技术资料

l 使用维修说明书

l 显微镜使用说明书