描述

低温大气射频辉光宽幅等离子系统——材料表面清洗、活化、刻蚀、纳米涂层。

一、低温大气辉光等离子的作用:消除静电、去除污染物(清洗)、表面活化、表面改性。

二、应用领域

1、TPS智能手机平板电脑制程应用

AF、AR喷涂前活化处理;手机外壳喷漆前清洗活化处理;TAB绑定前清洗;OCADAT层压前清洗处理;LOCA贴合前处理。

2、PCB封装钱的清洗活化

3、OLED柔性显示器制程应用

玻璃基板清洗;ITO清洗;有机污染物的去除;芯片绑定前清洗;封装前清洗;PI薄膜清洗活化。

4、LED制程应用

封装前框架清洗处理;芯片绑定前清洗处理;金线绑定前处理。

5、LCD制程应用

ACF绑定前清洗活化;PR灰化清洗;光刻工艺前清洗;PI印刷前清洗;COG绑定前清洗;RGB印刷前活化处理;

6、光学镜头模组制程应用

光学玻璃清洗;各种功能膜涂镀、沉积、喷涂前的表面清洗活化。

三、大气射频等离子的用途:

对各种材料(塑料、橡胶、陶瓷、玻璃、金属等有机和无机材料)表面进行微观清洗、表面活化、改性、消除静电等。

四、大气辉光等离子的技术优势:

1、在大气压状态下产生宽幅、均匀的等离子体辉光,可连续处理宽幅面的产品。

2、射频均匀辉光等离子体,温度低,等离子体为纯中性,没有电位差,对于带有微电路及电子元件的产品没有任何损害。

3、采用常压下产生均匀辉光等离子体的方式,结构简单,可以进行大宽幅工件的均匀处理。

4、能耗低,工艺气体用量非常少,设备运行成本低。

5、没有毒害及刺激性废弃产生,不需要通风系统。

6、等离子系统与工作台一体化,方便融入产线。

7、采用德国PTL公司电源技术,技术成熟稳定。

五、PTL-CSK500主要技术参数

输入电源 AC220V 50Hz 工作环境 温度< 42℃ 相对湿度≤40℃RH
最大功率 500VA 散热方式 水冷、风冷
频 率 13.56MHz 工艺气体 氦气、氩气、氮气、氧气
控制方式 PLC+触摸屏、自动手动两种模式 气体用量 约10L/分钟
主机外形尺寸 600(W)×800(H) ×800 (D) m m 喷头处理宽度 500mm
等离子体温度 ≤50℃ 处理速度 1~6米/分钟
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