PDMS芯片制作设备配套
PDMS材料
PDMS（polydimethylsiloxane），全称为聚二甲基硅氧烷，一种常见的微流控芯片原型制造的有机高分子聚合物。本身具有弹性、透明、透气、化学惰性。适合细胞培养、药物筛选、细胞捕获等相关生物化学实验；材料本身是疏水特性，可以通过化学和物理的方式进行灵活改性消除如细胞非特异性吸附等。
常用的PDMS材料选择
最常用的PDMS材料有两种，一种是迈图的PDMS RTV-615，一种是道康宁PDMS Sylgard 184。这两种材料的成分目前还属于商业机密，不被外人所知，根据多年的经验，可以给出如何选用PDMS的一些建议：
迈图PDMS RTV-615：
制备微阀的首选
坚固，键合力强，适用于多层键合的芯片
不耐脏，易脏
道康宁PDMS Sylgard 184：
透明度高：固化后形成透明的弹性体，适合光学应用。
良好的机械性能：具有良好的弹性和韧性。
易于使用：按10:1的比例混合聚合体和交联剂，操作相对简单。
适应温度范围广：可在-50到200℃的范围内正常使用。
化学稳定性好：对多数化学品稳定，但不耐强酸、碱及某些有机溶剂。
生物相容性：无毒，适用于细胞培养和生物医学设备。
PDMS芯片模具制备
PDMS芯片制备采用软光刻技术，从芯片模具（硅模具、SU8模具、PFCT模具、亚克力模具、金属模具）上复制反向结构，此方法可以容易地复制特征尺寸小于0.1μm的结构，同时，通过等离子体表面处理，PDMS可以和PDMS本身、玻璃、硅进行键合，形成密闭流道。
微流控PDMS芯片加工常用仪器设备及用途介绍
光刻机:对PDMS芯片的模板进行光刻加工。
匀胶机：PDMS光刻模板匀胶加工。（推荐产品：WH-SC-01型台式匀胶机）
烘胶台：用于PDMS芯片制作光刻工艺过程中的前烘、中烘和后烘。（推荐产品：WH-HP-03多温区烘胶台）
显影机：用于光刻工艺中的显影设备。（推荐产品：WH-XQY-01自动喷淋显影清洗一体机）
PDMS打孔器：在PDMS上完成各种尺寸的孔，以便于管道连接等。（推荐产品：WH-CF-14型台式打孔器）
等离子体清洗仪：进行PDMS芯片与玻璃，PDMS之间的键合。（推荐产品：WH-HPC-01等离子清洗机）
真空烘箱：对PDMS注塑脱气。
脱泡固化：PDMS混合脱泡固化一体机。（推荐产品：WH-HTG-01PDMS混合脱泡固化一体机）
通风橱：完成芯片表面改性等等设计化学药品的环节。
显微镜：由于芯片尺寸的原因，需要连接显微镜进行观察。
台阶仪：完成对加工管道深度和表面粗糙度的测量，这些数据对芯片使用效果有极大帮助。
接触角测量仪：对芯片改性后，使用仪器，能够得到芯片表面的接触角，这对实验结果的处理有极大帮助。
注射泵：在芯片功能区，通常需要注射泵将目标液体注入到芯片中去。（推荐产品：WH-PMPP系列 精密注射泵）
扫描电镜：通过电子扫描电镜，检测管道加工的尺寸精度等。
PDMS/PMMA/GLASS 芯片加工培训：
